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精密?電子事業

精密?電子事業

 高度な精密製造技術で半導體の進化と豊かな情報化社會の発展を支えます。

 スマートフォンやタブレット端末をはじめとするモバイル機器及びこれらの情報機器の通信を支えるインフラ(クラウド)の市場は大きく成長しています。精密?電子事業カンパニーは、そうした製品や技術の中核となる半導體?液晶?太陽電池セル等の製造メーカを主なお客様とし、そのニーズに応える半導體産業用裝置?機器、真空機器を開発?製造しています。半導體のハイスピードの進化に追従し、お客様の要求する製品機能を実現できる製造裝置?機器をタイムリー に提供していきます。

ドライ真空ポンプと排ガス処理裝置

 自社保有のモータ技術、ハイドロ技術、制御技術、熱解析技術、加工技術を駆使し、省エネルギーかつ小型軽量なドライ真空ポンプを実現。EV-S型では前シリーズ比約35%の消費電力低減とユーティリティコスト低減を達成しています。荏原の排ガス処理裝置は、半導體製造工程で排出される溫暖化ガスを含む多様なガスの分解除去を可能とし、さらに省エネルギー化、大流量化に対応しています。
 今後ますます求められる環境負荷の低い、環境に優しい半導體製造に向けて、荏原のドライ真空ポンプ、排ガス処理裝置は省エネルギー、CO2削減、環境負荷低減を実現します。

※「○○○型」の表示は當社の機種記號です。

荏原の半導體製造裝置

 300 ㎜ウェーハで約10~20ナノメートルという高度な平坦性を実現し、微細化を可能とするCMP 裝置。パッケージング技術の革新に欠かせないバンプ、ピラー、再配線や貫通ビアといった加工の高速?高性能処理を実現するめっき裝置。さらに、半導體製造の歩留り改善においてゴミの発生源として近年注目されているウェーハのベベル?裏面部を獨自の研磨方法で処理するベベル研磨裝置。荏原は半導體の微細化、3 次元化や低コスト化の課題に対応した製品開発に取り組んでいます。

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